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彭总 先生
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发布时间:2020-05-04 06:32:59
要想保证洁净棚内的洁净度,对正常运行的净化空调系统、洁净室,则必须做到进入洁净室内的空气是清净的,进入洁净室内的人和物品应经过必要的净化处理,百级无尘棚哪家好,尽量减少人和物带入洁净室内的灰尘量。
(1)人净
人净措施主要包括水洗、换鞋和衣服及空气吹淋三个方面。
***散发的污染物主要有自身产生的污染物和携带的污染物两种。
***携带的尘粒有三种;一种是随机附着在头发上、衣服和鞋上的外界环境污染物质;以及衣服和鞋上残留的污染物。另一种是人身涂抹物,如头油、香水、睛膏、脂粉等物。第三种是服装的磨损脱落物。
***又是洁净棚内主要的菌源之一。
(2)空气净
净化空调系统在运行中,所使用的各级空气过滤器必须是完好而无损坏和泄漏现象。净化空调系统在运行中,为防止送风系统将不应进入室内的尘粒带进室内,必须对系统中使用的初效、中效及末端空气过滤器进行定期的泄漏检查。
(3)物料净
进入洁净室的物料一般来讲应在运入洁净室之前进行清洗和必要的净化处理,以减少物料在洁净室内的发尘量。
进入洁净室的小件物品一般由洁净室与外走廊或洁净室也洁净室之间(洁净度级别不同的相邻房间)通过传递窗进入。传递窗一般有箱式型、回转式等。
净棚主要由箱体、风机、初效空气过滤器、阻尼层、灯具等组成,外壳喷塑。该产品既可悬挂,又可地面支撑,结构紧凑,使用方便。可以单个使用,也可多个连接组成带状洁净区域。?洁净室的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。?
湿度过高产生的问题更多,相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产佳温度范围为35—45%。
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